微機械輪式陀螺儀的結構分析

以輪式陀螺儀為研究對象,利用有限元方法分析了主要結構尺寸對其固有頻率的影響.根據(jù)驅動模態(tài)和敏感模態(tài)的頻率匹配,優(yōu)化了陀螺的結構尺寸;通過諧響應分析確定了頻率和振幅的關系,為結構設計和制備工藝提供了理論指導.

作 者： 郭宏賓 趙玉龍 蔣莊德 GUO Hong-bin ZHAO Yu-long JIANG Zhuang-de   作者單位：   刊 名： 微納電子技術  ISTIC PKU 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 44(7)  分類號： V241.55  關鍵詞： 微機電系統(tǒng)   硅微機械陀螺   有限元方法   模態(tài)分析   諧響應分析  

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