MEMS陀螺正交誤差分析與仿真

針對(duì)MEMS陀螺由于機(jī)械耦合引起的正交誤差,建立了包含誤差的MEMS陀螺動(dòng)力學(xué)方程,在開(kāi)環(huán)檢測(cè)和閉環(huán)檢測(cè)情況下,分別對(duì)正交誤差進(jìn)行了分析,并通過(guò)相關(guān)檢測(cè)技術(shù)抑制正交誤差對(duì)陀螺性能的影響,提取出角速度信息.運(yùn)用Simulink對(duì)陀螺進(jìn)行了建模仿真,仿真結(jié)果表明:在開(kāi)環(huán)檢測(cè)和閉環(huán)檢測(cè)情況下都能夠有效消除正交誤差的影響,由此驗(yàn)證了理論分析的正確性.

作 者： 溫佰仟 劉建業(yè) 李榮冰 WEN Bai-qian LIU Jian-ye LI Rong-bing   作者單位： 南京航空航天大學(xué),導(dǎo)航研究中心,江蘇,南京,210016  刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2008 27(9)  分類號(hào)： V241.5  關(guān)鍵詞： 微電子機(jī)械系統(tǒng)   陀螺   正交誤差   機(jī)械耦合   平均化分析方法  

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