離子注入GaN的拉曼散射研究

研究了離子注入前后GaN的拉曼散射光譜,特別是其中幾個(gè)在各種離子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性質(zhì),峰值強(qiáng)度隨注入元素原子量、注入劑量和退火溫度的變化關(guān)系.上述三個(gè)拉曼散射峰的強(qiáng)度都隨注入元素原子量的增加而降低.當(dāng)注入劑量增大時(shí),362和661cm-1峰值強(qiáng)度減少,而298cm-1峰值強(qiáng)度卻增大.隨退火溫度的升高,這三個(gè)拉曼散射峰的強(qiáng)度先增加后降低.對所觀察到的實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象和這三個(gè)峰的起源進(jìn)行了分析和討論.

作 者： 張紀(jì)才 戴倫 秦國剛 應(yīng)麗貞 趙新生   作者單位： 張紀(jì)才(山東曲阜師范大學(xué)物理系)

戴倫(北京大學(xué)人工微結(jié)構(gòu)與介觀物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室)

秦國剛(北京大學(xué)物理學(xué)院,北京,100871)

應(yīng)麗貞,趙新生(北京大學(xué)分子動(dòng)態(tài)與穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,化學(xué)與分子工程學(xué)院物理化學(xué)研究所,北京,100871) 

刊 名： 物理學(xué)報(bào)  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(3)  分類號： O4  關(guān)鍵詞： GaN   離子注入   拉曼散射   局域振動(dòng)  

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