自持金剛石厚膜上沉積生長ZnO薄膜及發(fā)光特性

采用磁控濺射在自持CVD金剛石厚膜的成核面上制備了ZnO薄膜,并實驗研究了其生長特性和發(fā)光特性隨O2和Ar流量的變化.利用X射線衍射(XRD)、光致發(fā)光(PL)光譜、電子探針(EPMA)和霍爾測量對樣品進行了檢測.結果表明,在O2/Ar比值約為1時沉積得到的ZnO薄膜取向較一致,呈現高阻的狀態(tài)并且發(fā)光性能最好.

作 者： 孫劍 白亦真 谷建峰 劉明 張慶瑜 姜辛 SUN Jian BAI Yi-zhen GU Jian-feng LIU Ming ZHANG Qing-yu JIANG Xin   作者單位： 孫劍,白亦真,劉明,張慶瑜,SUN Jian,BAI Yi-zhen,LIU Ming,ZHANG Qing-yu(大連理工大學,三束材料改性國家重點實驗室,遼寧,大連,116023;大連理工大學,物理與光電工程學院,遼寧,大連,116023)

谷建峰,姜辛,GU Jian-feng,JIANG Xin(大連理工大學,三束材料改性國家重點實驗室,遼寧,大連,116023) 

刊 名： 發(fā)光學報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE  年，卷(期)： 2008 29(3)  分類號： O482.31  關鍵詞： 聲表面波濾波器   金剛石   ZnO薄膜   磁控濺射  

【自持金剛石厚膜上沉積生長ZnO薄膜及發(fā)光特性】相關文章：

朱厚熜07-21

農用薄膜專項檢查總結范文08-17

愛，在瞬間發(fā)光04-07

她，在發(fā)光作文09-11

我要發(fā)光作文09-23

星星發(fā)光張揚個性04-10

厚積以薄發(fā)作文08-04

躬自厚以交友作文08-06

寫事作文嘴唇厚了08-06

聲音的特性教學反思04-06