低鏡面反射納米硅鍍膜玻璃制備及拉曼光譜表征

為解決"光污染"問(wèn)題,我們采用化學(xué)氣相沉積的方法及后退火工藝,制備了低鏡面反射納米硅鍍膜玻璃.用拉曼譜對(duì)樣品的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征,并測(cè)量了薄膜的反射率.結(jié)果表明,退火樣品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增強(qiáng)了對(duì)可見(jiàn)光的散射,因而具有低的反射率.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號(hào)： O484.4  關(guān)鍵詞： 拉曼譜   鍍膜玻璃   散射  

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