美國Veeco與中國中微半導(dǎo)體間起了一場“沖突”：中微當(dāng)自強

在半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中，一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商與另一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商相互展開競賽，首先受益的自然會是下游的廠商們。一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商若能積極地與另外一家或者多家半導(dǎo)體廠商展開同業(yè)競爭，這反倒很可能使得自身的實力更快地提升才對。2017年12月7日，臺灣省DIGITIMES報導(dǎo)，近些年來，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)一直在快速地進(jìn)步。這會促使中國芯片設(shè)計與制造行業(yè)更好地發(fā)展。這里就還是引用DIGITIMES的一段原話，“半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化是實現(xiàn)國產(chǎn)化芯片最關(guān)鍵的一役，近期包括北方華創(chuàng)、電科裝備集團(tuán)分別在立式氧化爐、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備皆相繼取得生產(chǎn)階段性突破，盡管面對國外廠家與競業(yè)興訴圍堵手段，國產(chǎn)設(shè)備廠商仍取得積極進(jìn)展”。由北方華創(chuàng)旗下的北方華創(chuàng)微電子所研發(fā)的立式氧化爐THEORISO302已被上海中芯國際、華力分別批量地采用后，該款型設(shè)備近期還會被長江存儲用來生產(chǎn)首款3D NAND閃存芯片。中電科裝備研發(fā)的首臺CMP（化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備），在近期也已被中芯國際采用。DIGITIMES還報導(dǎo)，不久前，美國MOCVD（金屬有機(jī)化合物氣相沉積設(shè)備）廠商Veeco向美國紐約東區(qū)法院提出針對SGL公司的一項禁令請求，要求該法院禁止SGL向包括中國半導(dǎo)體設(shè)備廠商中微半導(dǎo)體在內(nèi)的廠商供應(yīng)有著Veeco專利技術(shù)的石墨盤。事實上，在MOCVD設(shè)備市場中僅有兩大廠商，一家是Veeco、另一家便是中微半導(dǎo)體。這兩家廠商在MOCVD設(shè)備市場中均占有一半的市占率。很顯然，Veeco此舉將使得中微在短時間內(nèi)無法向SGL采購到足量的石墨盤，進(jìn)而影響到中微繼續(xù)生產(chǎn)MOCVD設(shè)備，甚至還殃及到下游一部分LED芯片廠商。一個好消息是，有媒體近日這樣報道，“2017年11月24日，國家知識產(chǎn)權(quán)局專利復(fù)審委作出審查決定，否決了‘Veeco上海公司’關(guān)于中微專利無效的申請，確認(rèn)中微半導(dǎo)體起訴‘Veeco上海公司’專利侵權(quán)的涉案專利為有效專利”。該媒體也提到，“中微開發(fā)相關(guān)技術(shù)、并在一系列相關(guān)專利申請布局后數(shù)年，Veeco美國公司才隨之應(yīng)用相同技術(shù)解決方案，在中微申請該涉案專利之后，Veeco美國公司針對該關(guān)鍵技術(shù)也提交了相近的專利申請，并使用于其EPIK 700產(chǎn)品上，由此侵犯了中微的專利權(quán)”。中微半導(dǎo)體作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中的“領(lǐng)頭羊”，之前國際上的應(yīng)用材料和科林研發(fā)等半導(dǎo)體設(shè)備廠商相繼與中微有過“交手”。DIGITIMES引述半導(dǎo)體行業(yè)首席分析師顧文軍的話稱，“中微在關(guān)于Veeco與SGL的官司上，似乎暫時判決對中微半導(dǎo)體不利，也引起了業(yè)內(nèi)對中微和LED公司的擔(dān)心，但很快就會有好消息，不必太過悲觀”。另有專業(yè)人士就此分析，Veeco與中微之間產(chǎn)生的這起“沖突”，很可能與Veeco已經(jīng)布局MicroLED顯示行業(yè)有很大的關(guān)系。Veeco希望自己能比中微有更大的`優(yōu)勢。2017年11月1日，Veeco和ALLOS半導(dǎo)體（ALLOS Semiconductors）之間達(dá)成了一項戰(zhàn)略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍(lán)/綠光micro-LED 的生產(chǎn)。Veeco和ALLOS合作將其專有外延技術(shù)轉(zhuǎn)移到 Propel單晶圓MOCVD系統(tǒng)，從而在現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實現(xiàn)生產(chǎn)microLED�！昂透偁帉κ值腗OCVD系統(tǒng)相比， Veeco的TurboDisc技術(shù)提供的制程窗口更大，因此Propel能提一流的均勻性同時還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì)。將Veeco領(lǐng)先的MOCVD專業(yè)技術(shù)和 ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結(jié)合，使我們客戶能夠開發(fā)出低成本的micro-LED，以便于在新的市場中開拓新的應(yīng)用。”Veeco高級副總裁兼MOCVD運營總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說。

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